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多晶沉积薄膜生长过程中织构演变的模拟研究
将织构组态熵的概念应用于沉积多晶薄膜织构演变的模拟研究,考虑膜沉积过程中晶体表面能各向异性及应变能各向异性的变化,建立了沉积......
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多晶薄膜
织构演变
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薄膜生长
薄膜沉积
polycrystalline thin film
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